Если вы прописали фьюзы Atmega без прикрепленного кварца – он заблокируется для программатора.
Самое простое решение данной проблемы – найти рабочий девайс (устройство) с кварцем и пустить от него два проводка к своей заблокированной Atmega на ношки XTAIL1 и XTAIL2.
Вы выбрали не кварцевый резонатор (кварц), а генератор. Найдите любой программатор, выдающий тактовый сигнал, либо соорудите из логики (даже самой простой типа 74HC00), либо запрограммируйте любой, ещё не заблокированный контроллер просто дрыгать ножкой, и подключите эту ножку ко входу XTAIL1, либо, если есть цифровой осциллограф, возьмите образцовый 1 МГц сигнал оттуда, либо воспользуйтесь FuseBit Doctor, либо параллельным программатором.
